里昂球员奥亚尔在与蒙彼利埃的比赛中进球
(弓本承)目前来看,这种分辨率尺寸对于7 nm/6 nm 节点(36 nm-38 nm)和5nm (30 nm-32 nm) 的单曝工艺已经足够用了,但随着间距低于30 nm(超过5nm级的节点)到来,3nm分辨率可能需要双重曝光技术,这是无法避免的方法。
目前来看,这种分辨率尺寸对于7 nm/6 nm 节点(36 nm-38 nm)和5nm (30 nm-32 nm) 的单曝工艺已经足够用了,但随着间距低于30 nm(超过5nm级的节点)到来,3nm分辨率可能需要双重曝光技术,这是无法避免的方法。(权河均)
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